– 한국나노기술원에서 「삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화
-’25년 3월 과기정통부-반도체 3사 업무협약 후속조치… 삼성전자의 반도체 팹 운영·관리 기법 및 중고장비를 공공나노팹 현장에 접목 –
-공공나노팹 맞춤형 ‘현장점검 안내서’
자문 모델 확산 추진 –
【관련 국정과제】 28. 세계를 선도할 넥스트(NEXT) 전략기술 육성
과학기술정보통신부(부총리 겸 과학기술정보통신부 장관 배경훈, 이하 ‘과기정통부’)는 11월 11일(수) 10시, 수원 한국나노기술원에서 「삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 모아팹 중고장비 이전식」을 개최한다고 밝혔다.
이번 행사는 과기정통부와 반도체 주요 3社(삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍) 간
체결(‘25.3.)된 업무협약(MOU)의 후속조치 일환으로 추진되었다. 삼성전자 DS부문 상생협력센터는 나노종합기술원, 나노융합기술원에 이어 한국나노기술원에 지난 4개월간(‘26.6.~10.) 민간기업의 반도체 팹 운영·관리 노하우를 이전하는 컨설팅을 수행하였다.
오늘 행사에서는 컨설팅 성과 공유와 함께 ‘모아팹 중고장비 활용 지원사업’을 통해 삼성전자의 유휴장비를 한국나노기술원으로 이전하는 장비 이전식을 함께 진행하였다. 행사에는 과기정통부 구혁채 제1차관, 삼성전자 DS부문 지현기
상생협력센터장(부사장), 한국나노기술원 변대석 원장 등 관계자 30여 명이 참석하였다.
이번 컨설팅은 삼성전자가 반도체 소재·부품·장비(소부장) 협력사를 대상으로 추진해 온 ‘소부장 눈높이 컨설팅’을 공공나노팹의 특성에 맞게 진행한 것으로, 한국나노기술원의 팹 운영 관리 방법을 장비별 표준작업절차서(SOP), 점검표, 교육·운영 기준에 반영하였다. 아울러 삼성전자는 컨설팅 결과를 토대로 양산 수준 민간기업에서만 활용하던 ‘현장점검 매뉴얼’을 공공나노팹 맞춤형으로 개발하여 최초로 적용하였다. 이 매뉴얼은 팹 안전과 설비 상태를 기관이 상시 점검할 수 있도록 표준 절차를 담고 있다.
이날 함께 열린 장비 이전식은 과기정통부 「모아팹 중고장비 활용 지원사업」의 일환으로 진행되었다. 이 사업은 기업의 유휴장비를 공공나노팹으로 이전하고 이전·구축비를 지원하는 사업이다. 한국나노기술원은 삼성전자로부터 이전받은 측정·분석 장비를 기업과 대학·연구소의 연구개발 및 기술지원에 활용하고, 기존 팹 서비스 및 전문인력 양성 프로그램과 연계하여 운영할 계획이다
| ■ 삼성전자 이전 대상 중고장비 개요 ■ – (장비명) 자동 패턴 박막 측정 장비 – (기능) 8인치 반도체 웨이퍼의 단층·다층 박막 두께와 광학상수를 비파괴 방식으로 – (기대효과) 8인치 자동 박막 계측 역량 신규 확보 |
지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장(부사장)은 “삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에게 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태고자 한다”라며, “특히 이번에 개발한 컨설팅 모델이
다른 모아팹 참여기관으로 확산되는 과정에도 꾸준히 함께하여 국내 반도체 생태계 경쟁력 강화에 지속적으로 기여하겠다”고 밝혔다.
구혁채 과기정통부 제1차관은 “글로벌 반도체 경쟁이 국가 역량을 총결집하는 경쟁으로 바뀌면서, 민간의 장비와 노하우가 공공 연구인프라로 이어지는 민관협력의 중요성이 더욱 커지고 있다”라며, “민간기업 컨설팅과 유휴장비 이전과 같은 협력 모델을 모아팹 참여기관 전반으로 넓혀 공공나노팹의 전반적인 운영 수준을 끌어올리고, 반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 적극 뒷받침하겠다”고 밝혔다.
과기정통부는 ‘모아팹(MoaFab)’에 참여하는 전체 기관에 컨설팅 결과와 현장점검 매뉴얼 등 우수사례를 공유하며, 한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체
기술센터, 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·
순차적으로 확대할 계획이다.
