| 과기정통부, 기업의 반도체 유휴장비 |
| – 구혁채 제1차관, DB하이텍 상우캠퍼스에서 모아팹 기능고도화를 위한 「DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식」 참석 -’25년 3월 과기정통부-반도체 3社 MOU 후속조치… DB하이텍 8인치 파운드리 유휴장비를 공공나노팹(나노종합기술원·나노융합기술원)으로 무상 이전 -총 750억 원 규모 「모아팹 중고장비 활용 지원사업(’26~’33년)」 본격 추진으로 공공나노팹 인프라 고도화 및 민·관 협력 반도체 생태계 강화 |
과학기술정보통신부(부총리 겸 과기정통부 장관 배경훈, 이하 ‘과기정통부’) 구혁채 제1차관은 8월 6일(목) DB하이텍 상우캠퍼스(충청북도 음성군)에서 열린
「DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식」(이하 ‘협약식’)에 참석하였다.
이번 행사는 과기정통부와 반도체 주요 3社(삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍) 간
체결(’25.3.)된 업무협약(MOU)의 후속조치 일환으로 추진되었다. DB하이텍은 자사 유휴 중고장비를 모아팹에 참여하는 공공나노팹으로 무상 이전함으로써, 공공 인프라와 산업 현장 간 기술·장비 격차를 해소하고 민·관이 힘을 모아 국가 반도체 연구 생태계를 강화하는 상생 협력의 출발을 함께하게 되었다.
협약식에는 조기석 DB하이텍 대표이사 사장, 양승주 부사장 등 DB하이텍 주요 임원진과 박흥수 나노종합기술원 원장, 이병훈 나노융합기술원 원장 등 공공나노팹 기관 관계자들이 참석하여 장비 무상 이전 협약을 체결하고 지속적인 협력 방안을 논의하였다.
나노·반도체 기술은 인공지능, 첨단바이오, 양자 등 전략기술의 발전의 핵심
다. 그러나 산업 현장의 급격한 기술 발전 대비 공공나노팹의 노후 장비 비율이 높아
연구개발 및 기업의 사업화 지원에 한계가 지적되어 왔다. 이에 과기정통부는 전국의 공공나노팹을 연계하는 ‘모아팹(MoaFab)’ 플랫폼을 기반으로 기업의 유휴장비를 공공나노팹으로 이전·활용하는 민·관 협력 모델을 발굴하였으며, 올해부터 총 750억 원 규모(’26~’33년)의 「모아팹 중고장비 활용 지원사업」을 본격 착수한다. 이 사업을 통해 모아팹 참여기관에 기업 유휴장비의 이전·구축비를 지원한다.
이번 협약을 통해 DB하이텍이 모아팹 참여기관에 무상 이전하는 첨단 중고장비는 나노종합기술원과 나노융합기술원 2개 기관에 구축되어 핵심 공정 연구개발 및 기술실증 지원에 활용될 예정이다.
| ■ DB하이텍 이전 대상 중고장비 상세 및 공공나노팹별 기대효과 ■ [나노종합기술원 수증] 8인치 고온 열처리 증착장비(LPCVD Horizontal Furnace) – (기능) 8인치 자동화 공정을 지원하는 장비로, 초소형 정밀 부품(MEMS)과 각종 센서(음향 마이크, 압력센서, 적외선센서 등)의 구조막을 얇고 균일하게 입히는 데 활용 – (기대효과) 20년 넘은 노후 장비를 교체해 작업 안전성을 확보하고, 1회 가동당 생산 처리량을 2배로 확대(회당 25개 → 50개)할 것으로 기대 [나노융합기술원 수증] 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비(HF Etcher & FDTS coating) – (기능) 차세대 피지컬 AI용 미세 센서 부품의 하부 받침막을 기체 가스로 깎아내 공중에 띄우고, 부품끼리 들러붙지 않도록 방수(소수성) 보호막을 입히는 8인치 장비 – (기대효과) 기존 공정방식 대비 초미세·초박막 부품을 손상 없이 깔끔하게 분리할 수 있어, 공정 단계를 줄이고 부품의 품질 및 완성도 향상 기대 |
앞으로 중고장비를 수증한 ‘모아팹(MoaFab)’ 참여 공공나노팹들을 중심으로 기관이 보유한 연구시설과 전문인력을 적극 활용하여 산·학·연 연구개발 지원,
등 공공 인프라로서의 기능을 대폭 강화해 나갈 예정이다. 또한 앞으로 모아팹에 참여하는 공공나노팹을 지속 확대함으로써 전국적인 공동 활용 체계를 구축·고도화할 계획이다.
한편, 협약식 이후 진행된 팸투어에서 구혁채 차관과 참석자들은 DB하이텍 상우캠퍼스의 8인치 파운드리 생산라인 참관을 진행하며, ▲민·관 협력 기반 반도체 생태계 강화, ▲공공나노팹 연구성과의 산업 적용을 위한 기술 지원 및
구혁채 과기정통부 제1차관은 축사를 통해 “DB하이텍의 선도적인 중고장비 이전은 민-관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만들어낸 모범적인 상생 협력 모델”이라고 강조하며, “앞으로 중고장비 활용 지원사업을 차질 없이 추진하여 공공나노팹의 연구지원 인프라를 대폭 고도화하고, 연구계와 산업계가 체감할 수 있는 첨단 반도체·나노 기술 혁신과 전문인력양성을 적극 뒷받침
